合肥芯碁微电子装备股份有限公司，于 2015 年 6 月成立于合肥市 高新技术开发区，专业从事以微纳直写光刻为技术核心的直接成像设备 及无掩膜光刻设备的研发和生产，于 2021 年 4 月在科创板上市，是中国直写光刻设备第一股，公司股票代码 688630。 作为国内直写光刻设备龙头企业，公司坚持自主研发与创新，拥有 完整的自主知识产权。凭借团队领先的研发水平，公司目前拥有知识产 权百余项，并获批建立了“外国专家工作室 ”和“第十批省级博士后科 研工作站 ”。
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09-09发布
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