沈阳芯源微电子设备股份有限公司(股票代码688037.SH)成立于2002年，是由中科院沈阳自动化研究所发起创建的国家高新技术企业，公司主营产品是用于芯片生产的高端半导体设备，是国内唯一可提供与光刻机联机的中高端涂胶显影设备厂商。 上海芯源微企业发展有限公司位于上海市临港新片区前沿产业区，成立于2021年，是沈阳芯源微电子设备股份有限公司的全资子公司，主要开展高端工艺技术节点的集成电路光刻工艺涂胶显影设备、化学清洗设备及其核心零部件研发及产业化，打造更高技术节点半导体设备。 广州芯知科技有限公司位于广州市黄埔区，成立于2023年，是由沈阳芯源微电子设备股份有限公司为响应国家战略和广东省集成电路“强芯”工程而发起设立。芯知科技的产业布局包括半导体核心零部件国产替代产线、划片机等半导体整机产品，打造芯源微专业精品的珠三角客服中心。
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09-09发布
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