清华大学摩擦学国家重点实验室——华海清科技术研发中心 清华大学摩擦学国家重点实验室CMP团队长期从事化学机械抛光机理研究与装备研发工作。为推动我国化学机械抛光(CMP)技术和设备产业化,清华大学成立了天津华海清科机电科技有限公司(隶属于清华控股)。 华海清科主要从事CMP设备和工艺及配套耗材的研发、生产、销售与服务,核心团队成员来自清华大学及业内专业人才,产品可广泛应用于极大规模集成电路制造、三维封装、微机电系统制造、晶圆平坦化、基片制造等领域。 华海清科技术研发中心是华海清科设立的重要核心技术研发机构,并联合清华大学的研发力量,主要从事CMP装备的前沿设计、
北京市海淀区北京清华大学精密仪器与机械学系大楼
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